原位/在线小分子质谱仪-安益谱原位/在线小分子质谱仪 RGA6500特点介绍
安益谱小分子气体分析质谱RGA6500凭借其全金属不锈钢腔体、高效真空系统、灵活进样设计、高性能离子源与质量分析器以及信号放大技术，在小分子气体分析领域展现出卓越性能，成为高精度气体检测的可靠选择。
一、全金属不锈钢腔体：稳定与耐用的基石
- 材质优势：RGA6500采用全金属不锈钢材质打造质谱腔体，这一设计具有多重优势。不锈钢材质具备出色的化学稳定性，能有效抵抗小分子气体（尤其是腐蚀性气体如HCl、NH₃等）的侵蚀，避免腔体被腐蚀导致的气体吸附、泄漏等问题，保障仪器长期稳定运行。
- 高温设计：腔体最高可加热至200℃，这一特性对于分析易冷凝、易吸附的小分子气体尤为关键。高温环境能显著减少小分子气体在腔体壁面的吸附残留，许多小分子气体（如H₂O、CO₂）在常温下易吸附于金属表面，而高温能打破气体分子与腔体壁面的吸附作用力，降低残留气体对检测结果的干扰，确保分析数据的准确性。
- 高密封性：不锈钢腔体的高密封性也为后续真空环境的建立提供了良好基础，减少外界气体渗入对检测的影响。
二、高效真空系统：构建纯净分析环境
无油隔膜泵：作为前级真空泵，无油隔膜泵采用无油设计，避免了传统油泵因油污挥发导致的真空污染问题。油污挥发产生的有机蒸汽若进入质谱腔体，会与小分子气体竞争电离，干扰检测信号，甚至污染离子源与质量分析器。无油隔膜泵能稳定提供低真空基础，为后续涡轮分子泵的启动与高效运行创造条件。
高性能涡轮分子泵：作为主真空泵，高性能涡轮分子泵抽速高、极限真空度高，能快速将腔体真空度提升至小分子气体电离与分离所需的高真空状态。高真空环境可减少气体分子间的碰撞概率，避免小分子气体离子在传输过程中因碰撞而损失，同时降低背景气体对目标气体检测的干扰，提升仪器灵敏度。
全量程真空规：仪器配备的全量程真空规可实时监测并显示真空系统的压力变化，覆盖从大气压到高真空的全压力范围。这一设计使得用户能够直观掌握仪器真空状态，及时调整优化真空条件，确保分析过程的稳定性和可靠性。
三、灵活进样设计：适配多样化检测需求
外置加热套不锈钢管进样：不锈钢管外置最高350℃的加热套，适用于易冷凝、高沸点的小分子气体（如高浓度H₂O、低碳烷烃混合物）或含微量易吸附杂质的气体样品。350℃的高温加热可防止气体在进样管内冷凝，部分小分子气体（如H₂O在低温下易凝结成液态，堵塞进样管），同时减少气体在进样管内壁的吸附残留，确保样品能完整、均匀地进入质谱腔体。不锈钢管的化学稳定性与高密封性，也能避免进样过程中样品被污染或泄漏。
石英毛细管进样：石英毛细管具有化学惰性强、热稳定性好的特点，适用于微量、低浓度小分子气体样品（如半导体制造中的痕量杂质气体、环境中的微量有害气体）。毛细管的细孔径（通常为几十至几百微米）可实现样品的微量、精准进样，避免大量样品进入腔体导致真空度骤降；同时，石英材质不易吸附小分子气体，能减少样品损失，保障检测的灵敏度与准确性。
双进样通道切换：两种进样方式可根据实际样品需求灵活切换，拓宽了仪器的应用范围，满足了不同用户在不同场景下的检测需求。
四、高性能离子源与质量分析器：精准捕获与筛选目标气体
开放式电子轰击离子源：RGA6500采用开放式电子轰击离子源，针对小分子气体的电离特性进行优化。其工作原理为：通过灯丝发射高能电子（通常为70eV标准电离能量），电子与进入离子源的小分子气体分子发生碰撞，打破气体分子的化学键，使分子电离成带正电的离子（如H₂→H₂⁺、CO→CO⁺）。
开放式设计的优势在于：离子源内部空间开阔，小分子气体能均匀分布并与电子充分碰撞，电离效率高；同时，开放式结构便于清洁与维护，减少离子源内残留气体对后续样品检测的干扰。对于小分子气体而言，70eV的电子能量能使其产生特征性强的离子碎片，不同小分子气体的离子碎片质荷比（m/z）具有独特性，这些特征离子为后续质量筛选与定性分析提供了清晰的“分子指纹”。
全金属双曲面四极杆质量分析器：RGA6500采用全金属双曲面四极杆作为质量分析器，这是实现小分子气体精准分离与筛选的核心部件。双曲面四极杆由四根平行的金属杆组成，通过在杆上施加特定频率与幅值的射频电压和直流电压，形成周期性变化的电场。当带电离子进入电场后，只有质荷比（m/z）符合特定条件的离子才能稳定通过四极杆，到达检测器，从而实现质量筛选。全金属材质赋予四极杆出色的结构稳定性与抗干扰能力，而双曲面设计则能大幅提升离子筛选的分辨率与效率。通过调节四极杆的电场参数，可精准筛选出目标质量数的离子，有效排除杂质离子的干扰，确保只有目标离子进入后续检测环节。
五、信号放大输出：提升检测灵敏度
电子倍增器：经过质量筛选的目标离子，最终到达电子倍增器进行信号处理。电子倍增器能将微弱的离子信号快速、高效地放大，即使是痕量目标离子产生的微弱信号，也能被精准捕捉并放大输出，大幅提升了仪器的检测灵敏度。放大后的信号可转化为直观的检测数据，为工作人员分析气体成分、判断样品特性提供清晰、准确的依据。电子倍增器具有高增益和低噪声的特点，其高增益特性确保了信号的充分放大，而低噪声特性则减少了信号放大过程中的背景干扰，提高了信噪比，进一步提升了检测的准确性和可靠性。
