RGA6500是一款专为真空环境中小分子气体成分分析设计的残余气体分析仪，其硬件配置体现了工业级质谱的耐用性与精准性。

安益谱小分子质谱仪 RGA 6500

典型应用场景

1. 半导体制造

• 监测刻蚀、沉积工艺腔室的残余气体（H₂O、O₂、碳氟化合物），保障工艺纯度
• 检测真空泵油返流污染，预防产品缺陷

2. 真空镀膜与材料科学

• 实时监控镀膜腔室气体成分，优化工艺参数
• 分析材料放气特性（如H₂、CO、CO₂释放），评估真空兼容性

3. 科研与工业真空系统

• 真空设备检漏与故障诊断（He检漏峰值m/z 4）
• 真空烘箱、手套箱等密闭环境气体纯度验证

操作维护要点

1. 烘烤除气：新安装或暴露大气后，烘烤24小时以达到本底真空
2. 防污染：避免腔室暴露有机物蒸气，否则需高温清洗或离子源更换
3. 校准：定期使用标准气体校准质量轴与灵敏度，确保定量准确
4. 真空保护：电子倍增器需在<10⁻⁵ mbar下开启，防止高压放电损坏