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小分子质谱仪-安益谱小分子气体分析质谱RGA6500仪器特点介绍


小分子气体分析质谱仪 RGA6500 是一款高性能的残余气体分析仪,专为高真空环境下的气体成分分析而设计。以下是该仪器的详细介绍:

小分子质谱仪-安益谱小分子气体分析质谱RGA6500仪器特点介绍(图1)

安益谱小分子质谱仪RGA 6500

仪器特点

  • 全金属不锈钢材质:采用全金属不锈钢材质作为质谱腔体,确保仪器的耐用性和稳定性,同时减少污染和背景信号。
  • 高温操作能力:腔体最高温度可达 200℃,适用于高温环境下的气体分析,能够有效去除腔体内的污染物,提高分析的准确性。
  • 高效真空系统:配备无油隔膜泵和高性能涡轮分子泵,提供稳定的高真空环境,确保质谱分析的高灵敏度和高分辨率。
  • 全量程真空规:配备全量程真空规,实时监测仪器的真空状态,确保在最佳真空条件下进行分析,提高数据的可靠性。

技术优势

  • 高灵敏度:采用高性能的电子倍增器和离子源,确保对低浓度气体成分的高灵敏度检测。
  • 宽质量范围:质量范围覆盖 1-200 amu,能够分析从小分子气体到较大分子的多种气体成分。
  • 快速扫描:快速扫描技术能够在短时间内完成气体成分的全谱分析,适合动态环境下的实时监测。
  • 数据处理系统:配备先进的数据处理软件,支持实时数据采集、分析和报告生成,提高工作效率。

应用领域

  • 真空系统监测:用于监测真空系统的残余气体成分,帮助优化真空系统性能,确保高真空环境。
  • 材料研究:分析材料在真空环境下的放气特性,评估材料的真空兼容性。
  • 半导体制造:监测半导体制造过程中的气体杂质,确保工艺环境的纯净度。
  • 航空航天:用于航空航天领域的真空环境监测和材料测试,确保设备在高真空条件下的可靠性。
  • 科学研究:在物理、化学和材料科学等领域的研究中,用于分析气体成分和反应产物。

总结

RGA6500 小分子气体分析质谱仪以其全金属不锈钢材质、高温操作能力、高效真空系统和全量程真空规等优势,为高真空环境下的气体成分分析提供了可靠的解决方案。无论是在真空系统监测、材料研究、半导体制造、航空航天还是科学研究中,RGA6500 都能够提供高精度、高灵敏度的气体分析,助力用户在各自领域取得突破性进展。