RGA6500 是苏州安益谱推出的小分子气体分析质谱仪（残气分析仪），专为高温、高真空、高洁净度场景设计，可实时、在线、同时检测多组分痕量气体，兼顾定性、定量与动态过程监测，是半导体、新能源、材料研发与真空工业的核心检测设备。

安益谱残气分析仪 RGA 6500 

一、核心定位

仪器全称：RGA6500 小分子气体分析质谱仪（残余气体分析仪） 

核心用途：高真空系统残气分析、检漏、工艺气体纯度监控、热解 / 催化反应逸出气体在线监测。

设计理念：全金属高温腔体 + 无油洁净真空 + 模块化易维护，国产高端 RGA，性能对标进口、价格更优。

二、关键技术参数（精简版）

质量范围：1–100 u（amu），覆盖 H₂、He、CH₄、CO、CO₂、H₂O、VOCs 等小分子。

灵敏度：ppm–ppb 级痕量检测，可测微量泄漏与杂质。

真空系统：无油隔膜泵 + 涡轮分子泵，全量程真空规实时监控。

腔体温度：全金属不锈钢腔体，最高 200℃恒温，抗吸附、低残留。

进样方式：不锈钢管 / 石英毛细管双路进样，可选外置 350℃加热套，防止样品冷凝。

离子源 / 分析器：开放式电子轰击离子源；全金属双曲面四极杆，稳定性强。

响应速度：≤100 ms，支持每秒多次采样，捕捉快速反应过程。

软件与通讯：全中文操作软件；支持 Modbus/Profibus，可对接 PLC/DCS。

三、核心优势

1. 200℃全金属高温腔体，数据更稳

高温脱附，显著减少 H₂O、CO₂等易吸附气体残留，高温样品直接进样无冷凝。316L 不锈钢，耐腐蚀、低本底释气，长期运行基线稳定。

2. 无油洁净真空，适配高纯场景

全程无油设计，杜绝油蒸气污染，满足半导体、锂电池、高纯材料等高洁净度要求。双泵协同，快速建立高真空，低离子干扰，检出限更低。

3. 质谱级多组分同步分析，一机多用

区别于传统单一气体检测仪，一次进样同时测多种气体，实时输出质谱图 + 分压数据。定性（成分识别）+ 定量（浓度 / 分压）+ 动态监测（过程趋势）三合一。

4. 模块化设计，易维护、低成本

离子源、灯丝、电子倍增器等核心部件支持快速更换，无需复杂拆机，停机时间短。国产自研，价格为进口品牌的 60%–70%，性价比高。

四、典型应用场景

1. 半导体 / 光伏

真空腔室残气分析、检漏、工艺气体（Ar、N₂、O₂）纯度监控。外延、刻蚀、沉积等工艺尾气成分与杂质溯源。

2. 新能源（锂电池）

电芯 / 模组真空封装残气检测、电解液溶剂（如 DMC、EMC）泄漏监测。电池热失控气体（HF、CO、VOCs）分析，助力安全研发。

3. 材料研发与催化

热重 - 质谱联用（TGA-MS）：聚合物热解、催化剂积碳、材料热稳定性研究。催化反应在线监测（如 MTO、费托合成），实时追踪反应物 / 产物浓度变化。化学吸附仪（TPD/TPR）联用，识别脱附气体组分。

4. 真空工业与热处理

真空炉、镀膜机、扩散泵等设备炉气分析、气氛稳定性监控、泄漏定位。

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