在工业真空监测、科研气体分析、环境痕量检测等领域，残余气体的精准定性定量是把控工艺稳定性、保障产品质量、深挖反应机理的核心关键。苏州安益谱精密仪器有限公司自研的RGA6500 残气分析仪（小分子气体分析质谱仪），以全金属硬核架构、超高真空洁净系统、精准质谱检测技术为核心，专为小分子气体分析打造，是真空系统诊断、气体成分解析、动态过程监测的高性能标杆设备。

安益谱 RGA6500残气分析仪

一、核心硬件：全金属精工设计，筑牢高精度检测根基

1. 全金属不锈钢腔体，高温耐腐蚀双优

RGA6500 质谱腔体采用全金属不锈钢材质，兼具强耐腐蚀性与结构稳定性，可抵御酸碱、腐蚀性气体侵蚀，避免腔体污染与样品残留，延长仪器使用寿命。腔体支持最高 200℃高温运行，能有效减少 CO₂、水汽等易吸附气体的残留干扰，适配高温炉气、热解气体等高温样品分析场景，长时间运行仍能保障数据一致性。

2. 双泵协同真空系统，洁净高真空双重保障

搭载无油隔膜泵 + 高性能涡轮分子泵组合真空系统，搭配全量程真空规，实现 “粗抽 - 高真空 - 实时监控” 全链路稳定运行：

无油隔膜泵：提供洁净前级真空（1×10²Pa），杜绝传统有油泵的油蒸气污染，适配高纯度气体分析；涡轮分子泵：快速将腔体真空度拉升至5×10⁻⁶Pa 以下，为离子生成、传输提供低干扰环境；全量程真空规：实时监测真空状态，异常预警，保障分析过程稳定可靠。

3. 灵活双路进样系统，适配多样样品需求

配备不锈钢管 / 石英毛细管双进样管路，可根据样品腐蚀性自由切换：常规气体用不锈钢管，强腐蚀性样品选用石英毛细管，适配从惰性气体到腐蚀性气体的宽范围样品。搭配可控加热套（最高 250℃）与高精度质量流量控制器，进样流量可在 1-20mL/min 精准调节，兼顾常量分析与痕量检测需求。

二、核心技术：质谱级精准检测，痕量气体无所遁形

1. 开放式电子轰击离子源（EI），高效电离特征鲜明

采用70eV 标准电子轰击离子源（符合国标电离条件），离子源温度可达 200℃，200μA 稳定发射电流，高效电离 H₂、He、CO、CO₂、CH₄、N₂等小分子气体，生成特征性强的离子碎片（“分子指纹”），为定性分析提供精准依据。开放式设计减少离子残留，适配高浓度气体直接进样，不易污染离子源。

2. 全金属双曲面四极杆，高分辨质量筛选

核心质量分析器采用全金属双曲面四极杆，分辨率≤0.5u（FWHM），可精准区分质量数相近的小分子气体（如 N₂与 CO）。通过施加特定射频与直流电压，形成稳定电场，仅允许目标质荷比离子通过，精准筛选目标气体离子，排除杂质干扰，保障定性定量准确性。

3. 高灵敏电子倍增器，微弱信号精准捕捉

配备高性能电子倍增器，可将痕量离子信号快速高效放大，检测灵敏度达 ppb 级，即使是真空系统中微量泄漏气体、环境中痕量有害气体，也能被精准捕捉与定量，满足超痕量分析需求。

三、核心优势：四大亮点，适配多场景高精度分析

高温抗吸附，数据更稳：200℃全金属腔体，解决易吸附气体残留难题，高温样品直接分析，数据重复性强；无油洁净设计，适配高纯场景：全程无油真空系统，杜绝油污染，适配半导体、锂电池、高纯材料等对洁净度要求高的领域；质谱级定性定量，一机多用：区别于传统单一气体检测仪，可同时检测多种气体成分，实时输出质谱图与分压数据，兼顾定性、定量、动态监测；模块化易维护，降低使用成本：离子源、灯丝、电子倍增器等核心部件支持快速更换，无需复杂拆机，减少停机维护时间，降低长期使用成本。

四、多元应用场景：覆盖科研工业环境，赋能全产业链检测

1. 工业真空系统监测

半导体 / 光伏：真空腔室残余气体分析、检漏、工艺气体纯度监控；锂电池：电芯 / 模组真空封装残气检测、电解液溶剂泄漏监测、密封性验证；热处理 / 镀膜：真空炉炉气成分分析、工艺气氛稳定性监控、杂质气体溯源。

2. 科研领域气体分析

催化 / 热重联用：催化反应过程气体产物实时监测、热解 / 分解反应逸出气体分析，同步获取质量变化与气体成分多维度数据；材料研发：新材料合成过程气体副产物检测、多孔材料吸附气体分析、反应机理深挖。

3. 环境与工业气体检测

环境监测：空气中微量 VOCs、有毒有害气体（如 H₂S、NH₃）快速定性定量；化工 / 能源：化工流程气体在线分析、天然气成分检测、锅炉烟气残余气体监控，保障工艺稳定与安全排放。

返回上一页