安益谱小分子气体分析质谱RGA6500是一款专为小分子气体分析设计的高性能质谱仪

安益谱原位/在线小分子质谱仪 RGA 6500

一、全金属不锈钢腔体设计

1. 材质优势：

• 采用全金属不锈钢材质构建质谱腔体，确保了仪器的结构强度和耐腐蚀性。
• 不锈钢材质对多种气体具有良好的化学惰性，减少了样品与腔体材料之间的相互作用，提高了分析的准确性。

2. 高温耐受性：

• 腔体最高温度可达到200℃，这一特性使得RGA6500能够适应高温环境下的气体分析需求。
• 高温耐受性有助于减少腔体内残留气体的影响，提高分析的灵敏度和重复性。

二、高效真空系统

1. 无油隔膜泵：

• 配备无油隔膜泵，避免了油蒸气对分析样品的污染，确保了分析结果的纯净性。
• 无油设计还减少了维护成本和操作复杂性，提高了仪器的可靠性和使用寿命。

2. 高性能涡轮分子泵：

• 涡轮分子泵具有高抽速和低极限真空的特点，能够快速将腔体内的气体抽至所需真空度。
• 高性能的涡轮分子泵确保了RGA6500在分析过程中的稳定性和准确性。

3. 真空环境稳定性：

• 无油隔膜泵与高性能涡轮分子泵的组合使用，为RGA6500提供了稳定、可靠的真空环境。
• 稳定的真空环境有助于减少背景噪声和干扰，提高分析的信噪比和灵敏度。

三、应用领域与优势

1. 应用领域：

• RGA6500广泛应用于半导体制造、真空镀膜、材料研究、环境监测等领域。
• 在这些领域中，小分子气体的分析对于产品质量控制、工艺优化和环境保护具有重要意义。

2. 优势总结：

• 高灵敏度：能够检测到极低浓度的小分子气体，满足高精度分析的需求。
• 高稳定性：全金属不锈钢腔体和高效真空系统确保了仪器的长期稳定性和可靠性。
  实时监测：全量程真空规支持实时掌握仪器真空状态，提高了分析的准确性和可重复性。
• 操作简便：无油隔膜泵的设计减少了维护成本和操作复杂性，提高了仪器的易用性。

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