RGA6500小分子气体分析质谱仪是一款专为气体成分在线监测与分析设计的四极杆质谱仪

安益谱小分子质谱仪 RGA 6500

一、核心技术架构分析

1. 全金属不锈钢腔体（最高200℃）

• 材料优势：316L不锈钢材质具有极低的气体渗透率和优异的化学惰性，确保腔体本底干净
• 高温必要性：
• 防冷凝
• 快速脱附
• 抗腐蚀
• 应用扩展

2. 真空系统配置

• 无油隔膜泵
• 高性能涡轮分子泵
• 全量程真空规

3. 进样系统灵活设计

• 外置加热套（最高350℃）：确保从采样点到离子源的全程无冷点，适用于：
• 高沸点有机物蒸气（如苯系物、硅氧烷）
• 易冷凝腐蚀性气体（如HF、HCl）
• 双进样通道：不锈钢管（耐压、耐腐蚀）与石英毛细管（低吸附、高惰性）可根据样品特性切换，兼顾耐用性与低污染

二、离子化与检测机制

4. 开放式电子轰击离子源

• 结构特点：电子束直接穿过开放式离子化区，与气体分子高效碰撞
• 性能优势：
• 电离效率高
• 稳定性强
• 能量标准
• 适用性广

5. 全金属双曲面四极杆质量分析器

• 双曲面设计
• 全金属构造
• 质量筛选效率

6. 电子倍增器信号放大

• 检测限
• 动态范围
• 快速响应

四、核心应用场景

1. 半导体制造

• 工艺气体纯度监测
• 刻蚀/沉积腔体检漏
• 腔体清洗验证

2. 真空技术研究与设备维护

• 残余气体分析（RGA）
• 材料出气研究

3. 材料科学

• 热脱附质谱（TDS）
• 表面反应监测

4. 能源与环保

• 锂电池产气分析
• 燃料电池气体纯度

5. 化工过程

• 催化反应在线监测
• 聚合反应单体回收

五、操作与维护要点

1. 烘烤除气：新安装或污染后，需200℃烘烤12-24小时降低本底
2. 进样流速控制：建议分压强≤10⁻³ Pa，避免空间电荷效应
3. 离子源清洁：定期（视污染程度）用无水乙醇+超声清洗离子盒
4. 四极杆维护：金属杆表面污染会导致分辨率下降，可用氢气还原法或氧等离子体清洗
5. 电子倍增器老化：避免暴露大气，防止氧化