一、产品概述

RGA 6500是苏州安益谱精密仪器自主研发的残余气体分析仪（四极杆质谱型 RGA），面向高真空腔体残气监测、在线小分子气体实时分析，兼顾真空检漏、气体定性定量、动态过程追踪。仪器采用全金属高温腔体、无油洁净真空系统，性能对标进口同类设备，是半导体、新能源电池、材料热分析、真空镀膜、催化科研领域的国产高端气体质谱解决方案。

二、核心工作原理

采用电子轰击离子源（EI）+ 双曲面四极杆质量分析器 + 电子倍增检测器：

气体分子进入离子源电离形成特征离子；

四极杆筛选不同质荷比离子，实现组分分离；

检测器放大微弱离子信号，得到质谱图；

软件自动识别组分，输出各气体种类与浓度变化，毫秒级响应，可连续长时间在线采集。

三、硬件核心优势

1. 全金属耐高温分析腔体

316L 不锈钢腔体，耐 HF、有机酸等腐蚀性气体；腔体最高200℃恒温加热，大幅降低 H₂O、CO₂、有机溶剂蒸气吸附残留；规避玻璃腔体易腐蚀、高沸点物质冷凝问题，适合电池热失控、热重联用场景。

2. 双灯丝离子源设计

双半弧形可切换灯丝，最大发射电流 2000 μA；电离效率高，保障 ppb~ppm 级痕量检测；灯丝互为备用，延长使用寿命，减少停机维护。

3. 洁净无油真空机组

无油隔膜前级泵 + 涡轮分子泵组合：

无油设计，杜绝油蒸气污染样品；系统极限真空 ≤1×10⁻⁷ Pa；搭载全量程真空规，实时监测真空状态，范围：1×10⁵ ~ 1×10⁻⁸ Pa。

四、典型应用领域

1. 真空工业 & 半导体

真空腔体残余气体成分分析、真空系统检漏（He 示踪）；薄膜镀膜工艺气氛监控；半导体腔体水汽、有机物污染溯源。

2. 锂电池研发与安全测试

电池热失控产气在线监测（CO、CO₂、HF、碳酸酯电解液蒸气等）；SEI 膜分解机理研究；封装腔体残气检测；电解液泄漏监测。

3. 材料热分析（TGA-MS 主流联用设备）

聚合物、复合材料热解逸出气体同步分析；催化剂热分解、积碳行为研究；无机矿物脱附气体表征。

4. 催化化工科研

固定床 / 流化床反应器尾气在线监测；甲醇制烯烃、CO₂还原、合成气转化过程动态追踪。

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