小分子气体组分精准分析、真空腔体残气溯源、工艺气体痕量检测，核心离不开仪器腔体材质、温控能力、真空体系三大核心硬件性能。针对科研催化、半导体光伏、新能源锂电、高纯特气检测等多元复杂工况痛点，安益谱自研推出RGA6500小分子气体分析质谱，依托一体化硬核硬件架构，兼顾耐腐蚀、低吸附、高洁净、真空稳态运行多重优势，适配离线检测、在线监测、仪器联用全场景气体分析作业。

全金属不锈钢腔体，耐高温低残留，适配复杂腐蚀性工况

安益谱RGA6500整机质谱腔体采用一体式全金属不锈钢精工打造，摒弃普通合金、喷涂腔体材质，具备优异的化学稳定性、结构密封性与抗酸碱腐蚀能力，可适配氢气、硫化物、碳氧化物等各类活性、腐蚀性小分子气体长期检测，腔体内壁不易氧化、不易吸附气体分子，从源头规避样品残留、交叉污染问题，保障检测数据重复性。

腔体支持最高200℃全域高温烘烤，是气体痕量分析、微量杂质检测的核心赋能配置。依托高温烘烤功能，可快速脱附腔体壁面吸附的水汽、二氧化碳、有机微量杂质，大幅降低基线干扰，有效将气体检测偏差控制在行业高精度区间；同时可匹配热重联用、催化热解、材料分解等高温逸出气检测实验，耐受高温进气工况，杜绝气体冷凝附着造成检测失真，适配长时间连续性实验分析。

双级无油真空组合，构建高洁净真空分析环境

真空度是质谱精准电离、小分子离子稳定传输的核心前提，传统油泵真空系统易出现油品挥发、油气返污染问题，会直接干扰微量气体组分检测结果。为此RGA6500搭载无油隔膜泵+高性能涡轮分子泵双级真空模组，打造全无油闭环真空体系。

前置无油隔膜泵负责粗抽快速建压，运行无油污排放、无需定期更换泵油，运维极简且腔体无油气污染；后置高性能涡轮分子泵高效拉升极限真空度，快速达标质谱分析标准真空环境，真空启停响应速度快，抗压稳定性强，可适配工业间歇性进气、科研长时间稳态检测两种作业模式，全程保障离子源、分析室洁净运行，延长仪器核心灯丝、检测器使用寿命，降低后期耗材更换成本。

全量程真空规实时监测，全域可控规避检测风险

为实现真空状态可视化、智能化管控，仪器标配原厂全量程真空规，覆盖低真空至高真空全量程数值监测，可实时采集腔体、管路、泵组全域真空数据，同步上传仪器控制系统可视化展示。操作人员无需外接检测设备，即可全天候把控整机真空工况，一旦出现真空泄漏、进气压力异常、泵组工况波动等问题，系统可快速预警，及时规避高压进气损伤质谱核心部件、真空不达标导致电离失效、数据漂移等问题。

该真空监测配置兼顾自动化与安全性，适配半导体刻蚀镀膜腔体检漏、锂电电芯封装残气检测、化工合成气在线监测、环境小分子污染物溯源等无人值守在线工况，大幅提升仪器运行安全性，降低人工巡检运维压力。

硬件赋能全场景，打造国产小分子质谱优选方案

依托不锈钢高温腔体、全无油真空系统、全量程真空监测三大硬核硬件加持，安益谱RGA6500打破进口质谱硬件溢价、运维繁琐的行业痛点，兼顾高精度、高稳定性、低运维成本三大优势：

科研领域：适配TGA-MS热重联用、化学吸附仪联用、多相催化反应原位气体分析，精准捕捉瞬时逸出小分子组分；

工业领域：服务半导体光伏真空工艺检漏、锂电真空封装残气检测、煤化工工艺气组分监控；

质检领域：完成电子特气、高纯氮氧气体痕量杂质核验，把控气源纯度达标。

从腔体材质精细化选材，到真空系统一体化适配，再到工况智能监测优化，安益谱RGA6500以底层硬件升级，赋能小分子气体分析全流程高效、精准、洁净作业，成为国产残气分析、小分子质谱检测标杆机型。

返回上一页