国产残气分析仪-苏州安益谱残气分析仪RGA 6500产品功能介绍
RGA6500 是苏州安益谱推出的一款高性能残余气体分析仪，专为真空环境中小分子气体的实时、在线分析而设计。它采用全金属高温腔体和无油真空系统，在半导体制造、催化研究、真空镀膜及热分析联用等领域有广泛应用。
主要应用领域
该仪器的核心价值在于其原位、实时的气体分析能力，典型应用包括：
半导体与真空工艺：监控刻蚀、沉积腔体中的残余气体（如H₂O、O₂），进行氦质谱检漏，检测泵油返流。
催化与材料研究：
化学吸附联用 (TPD/TPR)：实时分析催化剂表面脱附产物，精准识别活性位点。
热重联用 (TGA-MS)：同步分析材料热解过程中释放的CO₂、H₂O等小分子，辅助机理研究。
新能源与安全：检测锂电池热失控时释放的HF、CO等有毒气体，评估材料安全性。
技术优势解析
RGA6500的设计围绕“高温、无油、高灵敏”三个核心展开：
解决冷凝与残留问题：将腔体加热至200℃是该设备的一大特色。在分析如塑料热解产生的高沸点碳氢化合物时，这能有效防止气体在管道内壁冷凝，保证数据不失真。
保证真空纯净度：采用全流程的无油真空设计（隔膜泵+分子泵），避免了传统油封泵可能带来的碳氢化合物污染，这对检测本底要求极高的半导体工艺至关重要。
提升筛选精度：质量分析器采用全金属双曲面四极杆，相比常见的圆杆，双曲面设计能提供更理想的电场分布，从而获得更高的分辨率，有效区分质量数相近的气体（如N₂和CO）。
总结：安益谱RGA6500是一款定位工业级应用的国产质谱仪，通过耐高温抗污染的设计和稳定的真空系统，解决了真空工艺和材料研究中“看不清、测不准”的气体分析难题。
