国产RGA残气分析仪-苏州安益谱RGA6500残气分析仪性能和应用
苏州安益谱 RGA6500 是一款国产高性能在线小分子气体质谱仪,主打高温、高洁净、无油真空、快速多组分同步检测,在热重联用、催化、半导体、环境与医疗呼吸气等场景表现突出,整体达到进口同类产品水平,性价比更高。

一、核心硬件与性能(亮点)
全金属 316L 不锈钢腔体:最高 200℃高温烘烤,显著降低 H₂O/CO₂等吸附残留;耐 HCl/NH₃等腐蚀,长期稳定、低背景、少漂移。
无油真空系统:隔膜泵 + 涡轮分子泵组合,全程无油污染,适配高纯 / 痕量气体;全量程真空规实时监控,运行可靠易维护。
双进样灵活适配:不锈钢管 +350℃加热套:适合高温 / 高沸点样品,防冷凝。
石英毛细管:化学惰性强,适配微量、易吸附气体。
离子源与质量分析器:开放式电子轰击离子源(EI)电离稳定、碎片少;全金属双曲面四极杆,分辨率与离子传输效率高,覆盖主流小分子气体(H₂、O₂、CO、CO₂、CH₄、NOₓ、VOCs 等)。
灵敏度与检出限:电子倍增器放大微弱信号,痕量可达 ppb 级,可同步定量多组分,响应快(秒级)。
稳定性与寿命:全金属结构 + 高温烘烤 + 无油设计,长期运行漂移小、维护周期长、故障率低。
二、典型应用场景
热重 - 质谱联用(TGA-MS):实时监测聚合物热解、催化剂积碳、电池电解液分解气体(如 HF、CH₃F)。
催化与材料研究:原位监测反应气体(H₂、O₂、CO、CO₂、烃类),评价催化剂活性与选择性。
半导体与真空工艺:腔室残留气体分析、检漏、外延 / 刻蚀过程气体监控。
环境监测:工业尾气 CO/NOₓ/SO₂、VOCs 排放实时监测与溯源。
医疗与生物:呼出气体痕量烷烃 / VOCs 检测,辅助疾病早期筛查。
总结
RGA6500 是国产小分子气体质谱的优质选择,核心优势为高温低吸附、无油洁净、快速多组分、高灵敏度、稳定耐用,适合科研与工业在线 / 原位气体分析,性价比优于进口,售后与技术支持更便捷。


