小分子质谱仪-安益谱原位/在线小分子质谱仪RGA 6500
一、全金属不锈钢腔体：耐高温与抗腐蚀的双重保障
耐高温性能
RGA6500 的腔体采用全金属不锈钢材质，最高可承受 200℃ 的高温环境。这一特性使其能够直接分析高温气体样品（如工业炉气、高温反应气体），避免样品在传输过程中冷凝或吸附于腔体壁面，确保检测结果的准确性。例如，在半导体制造中，腔室环境中的高温气体（如 O₂、H₂O）需实时监测，RGA6500 的高温耐受性可满足此类严苛需求。抗腐蚀与稳定性
不锈钢材质具备优异的耐化学腐蚀性，可适应酸性、碱性等复杂气体环境，延长仪器使用寿命。同时，全金属结构减少了腔体内部的污染和吸附，提升了分析结果的重复性和可靠性。
无油设计避免污染
RGA6500 采用无油隔膜泵作为初级真空泵，避免了传统油泵可能带来的油蒸气污染，尤其适合高纯度气体分析。无油设计还降低了维护成本，减少了油更换和系统清洗的频率。高性能涡轮分子泵实现高真空
涡轮分子泵提供高真空环境，确保质谱分析的高灵敏度和高分辨率。在真空设备检漏中，RGA6500 可快速定位泄漏点，其高真空性能是关键支撑。二级真空系统协同工作
无油隔膜泵与涡轮分子泵的组合实现了从粗真空到高真空的快速切换，缩短了仪器启动时间，同时保障了真空系统的稳定性。例如，在工业废气监测中，系统需连续运行数小时，稳定的真空环境可避免数据漂移。
三、全量程真空规：实时监控与智能反馈
全量程覆盖能力
配备的全量程真空规可监测从大气压（10⁵ Pa）到高真空（10⁻⁶ Pa）的完整范围，覆盖了 RGA6500 的所有工作场景。这一特性使其在真空工艺监控（如等离子体刻蚀、真空干燥箱）中表现突出，可实时反馈真空状态变化，避免因真空度不足导致的分析误差。智能诊断与预警功能
通过实时监控真空度，仪器可自动检测漏气、泵故障等异常情况，并通过软件界面或报警系统提示用户。例如，在材料科学实验中，若腔体残留气体导致真空度下降，RGA6500 可及时预警，防止样品污染或实验失败。
四、应用场景与性能表现
- 工业气体分析
- 炉气监测：分析工业炉中的 CO、CO₂、H₂ 等成分，优化燃烧效率。
- 废气排放：检测 VOCs、H₂S 等有害气体，确保符合环保标准（如检测限低至 0.01 ng/L）。
- 环境监测
- 大气污染：实时监测 SO₂、NOₓ 等污染物，评估空气质量。
- 温室气体：跟踪 CO₂、CH₄ 排放，支持碳减排政策制定。
- 科学研究
- 催化反应：在线监测反应产物（如 CH₃OH、C₂H₄），研究反应机理。
- 材料科学：分析材料热解气体（如高分子材料释放的低碳烷烃），评估材料稳定性。
